CSPM5500原子力显微镜简介
日期:2021-06-09  发布人:能源工程学院  浏览量:219


原子力显微镜(Atomic Force Microscope AFM),是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。在材料科学领域,原子力显微镜不但可以获得材料表面的3D形貌、表面粗糙度和高度等信息,而且可以获得材料表面物理性质分布的差异,如摩擦力压电特性、磁学性质等。在半导体工业领域,原子力显微镜可以检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息,同时可以检测表面缺陷,有利于半导体材料的可靠性、均一性和失效性分析。

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